基于压电陶瓷薄膜驱动的液滴射频微机电系统开关

作者：徐瀚洋; 田文超; 李默含; 陈志强; 辛菲

来源：2022-06-20, 中国, CN202210697959.X.

本发明公开了一种基于压电陶瓷薄膜驱动的液滴射频微机电系统开关,主要解决现有射频微机电系统开关驱动电压大及抗外界加速度信号干扰弱的问题,其包括下、中、上三层基板,上基板(3)上设有两个金属焊盘(9,10),且上、下表面分别设有压电陶瓷薄膜(6)和背腔(7)；下基板(1)上设有由两个地电极(41,43)及两个信号电极(42,44)构成的共面波导(4)：中间基板(2)上设有贯通槽(8),该贯通槽位于信号电极的上方,两个地电极的部分区域暴露在贯通槽内；该贯通槽和背腔中心对齐,且上下贯通,内装有水银液滴(5)；所述三层基板封装为一体。本发明驱动电压小,抗外界加速度信号干扰能力强,体积小,成本低,可用于微机电系统。

• 单位
  西安电子科技大学