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摘要
本发明公开了一种基于多孔氧化铝的薄膜组件及其制备方法,包括一薄膜基体,所述薄膜基体其中至少一表面上具有微阵列结构,所述微阵列结构是凸出于所述薄膜基体表面的多孔氧化铝微柱阵列,所述微柱阵列的每个柱状体的端部都具有多个纳米孔；所述微阵列结构是对一双面氧化的多孔氧化铝薄膜进行光刻和湿法刻蚀而形成；其中,光刻时涂覆负性光刻胶并通过一具有微孔阵列的掩膜板进行曝光。制备方法包括对多孔氧化铝薄膜进行光刻,得到样片,放入刻蚀液中,以使刻蚀液沿显影后去除光刻胶而暴露出的纳米孔流入,进行垂直于多孔氧化铝薄膜表面的各向异性刻蚀,得到具有所述微阵列结构的所述薄膜组件。
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单位清华大学深圳研究生院
