微小深度尺寸测量系统的误差与测量不确定度分析

作者：齐皇仲; 叶怀储; 陈欢; 潘璐; 李建

来源：中国测试, 2013, S2: 116-117+122.

• 表面微小深度检测
• 误差来源分析
• 不确定度分析 micro-depth surface detection
• error analysis
• uncertainty analysis

该文针对"微小深度尺寸现场测量系统的研究"项目进行原理阐述和误差来源的深入分析,同时对各类误差引入的测量不确定度进行计算,利用计算结果来验证该测量系统的测量不确定度。

• 单位
  浙江省计量科学研究院