制备光学金刚石膜的微波谐振腔设计及优化

作者：李晓静; 郑子云; 史戈平; 高永亮

来源：红外与激光工程, 2019, S2: 162-169.

• 微波
• 谐振腔
• 结构设计
• 优化

设计了两种具有不同结构的用于制备光学金刚石膜材料的新型微波谐振腔,第一种山字形剖面的重入式谐振腔,具有能提供足够大的微波谐振空间,激发出高密度等离子体的优点,对其改进后,沉积基台倒置,减少杂质,有助于提高膜的质量。在第二种谐振腔结构优化过程中发现,微波传输结构部分设计过渡锥台比直接连接时,沉积台上方可获得更强的电场强度,有利于提高沉积速率。对气体供给方式及流速进行了优化,提出了两种工作气体供给模式,模式I从中心孔进入,模式II从环状孔进入。结果表明:模式I有利形成均匀膜层,最佳气体流速范围为5～10 m/s。设计的微波谐振腔可应用于高品质光学金刚石膜的制备。

• 单位
  中国兵器科学研究院宁波分院; 烟台万隆真空冶金股份有限公司