化学气相沉积氮化钛薄膜的研究

作者：王俊宝; 肖维维; 梁兰菊; 高炬

来源：山东化工, 2023, 52(20): 11-18.

DOI：10.19319/j.cnki.issn.1008-021x.2023.20.040

• TiN薄膜
• 化学气相沉积
• 制备

氮化钛薄膜材料具有优良的性能，应用广阔，总结了化学气相沉积制备氮化钛薄膜的方法和原理，介绍了化学气相沉积在制备氮化钛方面的应用现状和研究成果，分析了各种化学气相沉积方法的优势。

• 单位
  枣庄学院; 南京信息工程大学滨江学院