磁控溅射CrSiN涂层及其摩擦磨损性能研究

作者：付保英

来源：电镀与精饰, 2022, 44(07): 36-41.

• 磁控溅射
• CrSiN涂层
• Si含量
• 微观结构
• 摩擦磨损

采用磁控溅射沉积方法，改变 Si靶功率制备不同 Si含量的 CrSiN 涂层。通过 X 射线能谱仪、X 射线衍射仪、X射线光电子能谱分析仪、扫描电镜分析涂层的化学成分、晶体结构和微观形貌，使用纳米划痕仪和摩擦磨损试验仪测试涂层的硬度、结合力和摩擦磨损行为。结果表明：随着 Si靶功率的增加，CrSiN涂层中 Si含量增加，涂层由疏松的三角锥结构转变为致密的 CrN 纳米晶粒和 Si3N4非晶复合结构，涂层硬度、结合力和摩擦系数均呈现先增加后减小的趋势，当 Si 靶功率为 60 W 时，涂层具有最佳的摩擦磨损性能，涂层硬度、结合力和摩擦系数分别为 23.7 GPa、29.4 N 和 0.29。

• 单位
  鹤壁职业技术学院; 机电工程学院