ITO靶材第二相的提取方法与分析

作者：杨硕; 薛建强; 师琳璞

来源：材料开发与应用, 2019, 34(01): 45-49.

DOI：10.19515/j.cnki.1003-1545.2019.01.009

• ITO靶材
• 腐蚀产物
• 第二相
• 靶材黑化

通过将ITO靶材粉碎、过筛后用王水长时间腐蚀的方法,提取出腐蚀产物。以进口A靶、B靶和C靶粉碎后的腐蚀产物为研究对象,通过SEM、TEM、XRD等检测手段研究3种靶材腐蚀产物的形貌、物相结构和组成成分等。结果表明,腐蚀产物均为第二相,其中A靶第二相为近似等轴体的In4Sn3O12,B靶和C靶第二相可能同时含有近似等轴体In4Sn3O12和"窄片"In2SnO5,并且A靶第二相比B靶多出约8.32%,比C靶多出约4.48%。

• 单位
  中国船舶重工集团公司第七二五研究所