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摘要
在OLED发光层喷墨打印制备中，像素坑内成膜厚度控制是抑制器件产生Mura缺陷的关键。不同喷孔液滴体积差异和液滴错误沉积引起的像素坑内融合溶液体积变化，是造成发光层膜厚不一致的主要原因。为解决膜厚一致性问题，本文提出了基于液滴体积控制与沉积定位控制的OLED发光层成膜控制方法。首先调节驱动波形使不同喷孔产生体积适配的液滴；然后检测各喷孔的液滴落点位置，通过偏移补偿和异常喷孔筛选控制液滴精准沉积；最后使用不同液滴混合方法控制像素坑内溶液体积。在实验中，将液滴沉积定位偏差控制在±10μm，将液滴混合后溶液体积差异控制在±4%，测量干燥固化后的薄膜厚度，结果表明，不同像素坑膜厚一致性提高至95%以上，获得了发光均匀的OLED器件。本文提出的膜厚一致性控制方法达到预期、满足OLED功能层制备要求。
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单位华中科技大学; 数字制造装备与技术国家重点实验室
