Al/ZnO:Al薄膜结构的荧光增强效应

作者：徐天宁; 卢忠; 隋成华; 吴惠桢

来源：发光学报, 2013, (03): 356-360.

• ZnO:Al薄膜
• 局域表面等离子体
• 荧光增强 ZnO∶Al films
• localized surface plasmon
• emission enhancement

利用物理气相沉积设备制备了Al/ZnO∶Al薄膜样品,研究了该薄膜结构的发光特性。结果表明,在ZnO∶Al薄膜表面镀一层Al岛薄膜可以增强其带边荧光,同时在475 nm附近产生蓝光峰。通过在Al岛薄膜和ZnO∶Al薄膜之间引入一层5 nm的Ta2O5绝缘层可以使ZnO∶Al薄膜的带边荧光和蓝光显著增强,并随着Ta2O5绝缘层厚度的增大而减弱。通过对Al/ZnO∶Al样品进行退火处理可以使带边荧光和蓝光峰分别增强9倍和83倍。基于局域表面等离子体共振理论,计算了Al/ZnO∶Al纳米结构的光学散射和吸收截面曲线。实验结果与理论计算相一致。

• 单位
  浙江大学; 浙江工业大学之江学院; 硅材料国家重点实验室