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摘要
硅基光电子技术的发展可以将激光雷达系统发射模块和接收模块中分立的有源和无源器件集成在芯片上，使激光雷达体积更小、稳定性更强、成本更低，推动激光雷达在自动驾驶等领域的应用。首先，分析激光雷达的基本概念及测量原理。随后，根据扫描方式的不同，将硅基片上激光雷达分为面阵闪光、光学相控阵、透镜辅助光束转向和慢光光栅等4类，并分别对其技术特点和研究进展进行阐述。最后，对目前硅基片上激光雷达的发展趋势进行了总结和展望。
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单位四川大学; 西南技术物理研究所
