金刚石在传感探测领域的研究进展

作者：卢超; 刘杰^*; 王小炼; 孔清泉; 安旭光

来源：电子元件与材料, 2021, 40(10): 954-974.

DOI：10.14106/j.cnki.1001-2028.2021.0390

• 金刚石
• 半导体
• 综述
• 耐辐照
• 传感器
• 探测器
• 灵敏度

金刚石薄膜半导体材料的禁带宽度大、载流子迁移率高、击穿场强高、介电常数小、热导率高且对可见光透明,显示出优异的电学、热学、力学和光学特性,利用金刚石薄膜制作的传感探测装置具有信噪比高、响应时间快、抗辐照能力强、工作温度范围宽、器件尺寸小等优点,可替代硅探测器应用于极端环境下的探测活动。综述了金刚石薄膜传感探测器对气体(如O2、H2、CO、NH3、H2S等)、高能粒子(如质子、中子、α粒子等)、高能射线(如X射线、γ射线等)、紫外线和磁场等进行探测的应用研究现状。最后,指出了金刚石薄膜传感探测器在产业化中存在的问题,并对其未来发展趋势与方向进行了展望。

• 单位
  成都大学; 杭州电子科技大学