超低阈值横向腔光子晶体面发射激光器

作者：郑婉华; 王宇飞; 周文君; 渠红伟; 张建心; 齐爱谊; 刘磊

来源：红外与激光工程, 2012, 41(12): 3198-3201.

• 光子晶体
• 激光器
• 面发射
• 横向腔
• 阈值电流密度

首次在无DBR结构的商业外延波导晶片上实现了电泵横向腔光子晶体面发射激光器(LC-PCSEL)。深孔刻蚀技术使光子晶体深达2.6μm,穿透有源区,对有源区的模式直接调制。通过较小区域的光子晶体与FP腔的融合集成,利用带边模式Γ2-1的横向振荡垂直输出特性,室温下获得了1553.8 nm的面发射激光,线宽0.4 nm。超低阈值电流密度为667 A/cm2,纵向和横向的远场发散角分别为7.5°和5.5°。LC-PCSEL的设计为电注入面发射激光器的研制提供了新的思路,为该类激光器的批量生产提供了可能。

• 单位
  中国科学院半导体研究所; 集成光电子学国家重点实验室