碲镉汞表面硫化的光电子能谱及器件性能研究

作者：汤英文; 庄春泉; 许金通; 游达; 李向阳; 龚海梅

来源：激光与红外, 2005, (11): 40-41+53.

• 光电子谱
• HgCdTe
• 表面硫化
• 电学性质 XPS
• surface sulfide
• electrical charaterisation

利用X射线光电子谱(XPS)对HgCdTe表面的硫化特性进行了研究,发现溴腐蚀后的表面硫化处理可以去掉表面的氧化层,Te富集的程度大大减少,硫化处理后再长硫化锌对器件进行钝化,可以大大减少器件的表面漏电,增加器件工作电压和提高器件性能。

• 单位
  中国科学院上海技术物理研究所; 传感技术国家重点实验室