<正>为消除阴极和阳极形状和尺寸参数对沉积层内应力的影响，本文以铜薄片为阴极、镍板为阳极进行了响应曲面设计试验。采用Minitab进行试验设计与分析得到镍电铸基本工艺参数：电流密度、氨基磺酸镍浓度、电铸液温度与内应力的回归方程。基于响应面建立的模型进行优化求解，并通过试验验证，得到了一组低内应力的试验参数组合。
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