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摘要
鉴于碳化硅材料在集成电路领域的巨大优势，为进一步提高电路研发生产水平，形成高效而完善的器件测试流程，以某款碳化硅器件为测试对象，为其专门设计一套测试方法。方法基于对碳化硅材料的特性与工作原理的分析，合理选取测试条件与测试设备，并实际进行测试，获得击穿电压、正向电流、结电容等参数的详细数据。测试结果表明，方法能够准确把握该类碳化硅产品的关键参数指标，符合行业标准，具有一定的实用价值。
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单位中国电子科技集团公司; 无锡华润上华科技有限公司
