不同本底真空度下SiC/Mg极紫外多层膜的制备和测试

作者：朱京涛; 黄秋实; 白亮; 蒋晖; 徐敬; 王晓强; 周洪军; 霍同林; 王占山; 陈玲燕

来源：光学精密工程, 2009, (12): 2946-2951.

• 极紫外光学
• 本底真空度
• 多层膜
• 反射率
• 磁控溅射

为研究不同本底真空度对SiC/Mg极紫外多层膜光学性能的影响,利用直流磁控溅射方法在不同本底真空度条件下制备了峰值反射波长在30.4nm的SiC/Mg周期膜。X射线掠入射反射测试结果表明,不同本底真空度条件下制备的SiC/Mg周期多层膜膜层质量有明显差异。用同步辐射测试了SiC/Mg多层膜在工作波长处的反射率,结果表明,本底真空度为6.0×10-5Pa时,SiC/Mg周期膜反射率为43%,而本底真空度在5.0×10-4Pa时,SiC/Mg多层膜反射率仅为30%。同步辐射反射曲线拟合结果表明,反射率随着本底真空度降低是由多层膜Mg膜层中的Mg氧化物含量增多造成的。

• 单位
  同济大学; 中国科技大学