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摘要
随着科学技术的发展和装备制造业的进步,人们对距离测量技术提出了更高的要求,特别是在大型精密机械制造和航空航天等领域,快速、准确地距离测量已成为科学实验和工业生产控制中至关重要的一步。据此,文章回顾了现有的激光精密测距技术,介绍了脉冲飞行时间法、相位法、多波长干涉法、调频连续波法、飞秒光频梳法等绝对距离测量技术,以及激光三角法、激光干涉仪、自混合干涉法等相对距离测量技术,对工作原理、技术特点、应用范围和最新研究进展进行了汇总。
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单位精密测试技术及仪器国家重点实验室; 清华大学
