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摘要
针对应用于高温环境的剪切型压电加速度传感器，建立了固有频率的计算模型，研究了刚度和几何结构参数对加速度传感器固有频率的影响。研究结果表明：该模型计算结果和有限元仿真结果基本一致。三角支柱的法向刚度对传感器整体刚度的影响最大。中心支柱的几何尺寸对固有频率影响最大，质量块的长宽以及压电片高度对固有频率也有较大影响。优化后的传感器实物样品，固有频率较优化前实现了约20%的提升，符合理论变化趋势。该计算模型和计算结果有助于优化三角剪切型压电加速度传感器。
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单位电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室
