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摘要
针对应变测量的温度干扰问题，文中设计了2个声表面波应变传感器，2个传感器的频率分别为240.856 MHz和239.22 MHz。2个传感器粘贴在悬臂梁上靠近固定端的2个位置，一个沿着声表面的传播方向与应变方向一致的方向粘贴，另一个沿着传播方向与应变垂直的方向粘贴。然后对传感器的温度应变响应进行测试，测得了传感器芯片在25～200℃下的频率响应。结果表明一个谐振器的共振频率随着应变的增加而减小，频率与应变为线性关系，室温下灵敏度为192.5 Hz/με。另一个谐振器的共振频率随着应变的增加而增加，频率与应变为线性关系，室温下灵敏度为128.7 Hz/με。然后提取出不同温度下的应变灵敏度，2个传感器的灵敏度随着温度的变化，先增加后减小。然后将2个传感器频率做差，通过计算实现了应变精确值的提取。
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