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摘要
利用化学气相沉积和磁控溅射方法制备了透明金刚石薄膜 /氧化锌异质结。首先 ,在金刚石单晶表面外延生长 1层透明p型半导体金刚石薄膜 ,然后在金刚石薄膜上利用反应磁控溅射方法制备出n型透明氧化锌半导体薄膜 ;进而利用溅射、光刻等方法制备出欧姆接触电极 ,获得了金刚石 /氧化锌透明异质 pn结。该结呈现典型的二极管伏安特性曲线 ,开启电压为 1.0V。在 5 0 0～ 70 0nm波长范围内 ,该结的透过率达到 2 0 %。
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单位吉林大学; 超硬材料国家重点实验室
