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摘要
针对设备部件延寿预测问题，该文首先提出了上下限两种异常畸变指标，并给出灰色多指标延寿畸变预测模型的架构图和延寿预测示意图，其次运用灰色系统方法分别构建了两阶段灰色预测模型，在第一阶段构建了灰色上下限畸变预测模型，得到下一次发生畸变的日期；第二阶段构建GM(1，1)模型，对设备部件延寿以及上下限指标的异常值进行预测，同时对模型的预测精度进行检验和分析，并根据模型的预测结果确定了设备部件延寿的时间。最后以半导体制造业设备靶材延寿为实际应用案例验证了该模型的有效性和可行性，为合理制定部件的最优维护更换时间以及对降低企业运维成本具有重要指导意义。
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单位南京航空航天大学; 经济管理学院
