双边驱动精密XY运动平台解耦控制研究

作者：赵冶; 朱煜; 杨开明; 潘尚峰

来源：组合机床与自动化加工技术, 2010, (09): 30-33.

• 双边驱动
• 精密XY运动平台
• 解耦控制
• 参数变化系统 H-drive
• precision XY stage
• decoupling control
• parameter-varying system

针对具有非对称结构的直线电机驱动精密XY运动平台,为提高Y向双边同步运动控制性能,采用解耦补偿器和输出变换矩阵的方法获得了精密XY运动平台Y向解耦控制,并采用相对增益矩阵(RGA)定量分析了解耦性能。同时考虑到X轴位置变化,将解耦补偿器和输出变换矩阵设计成与X轴滑块位置参数相关的,从而实现参数变化解耦控制。运动平台控制仿真结果表明,该控制策略实现了两变量平动和转动的解耦控制,可以较好地完成双边同步控制。

• 单位
  摩擦学国家重点实验室; 清华大学