基于CSRR的微波SIW高温温度传感器

作者：寇海荣; 杨立波; 张小勇; 尚珍珍; 史俊冰

来源：微纳电子技术, 2022, 59(12): 1330-1336.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2022.12.012

• 温度传感器
• 互补开口谐振环(CSRR)
• 基片集成波导(SIW)
• 高温共烧陶瓷(HTCC)
• 丝网印刷

针对航空航天、采矿冶金等高温领域对温度参数的测量需求，研制了一种基于互补开口谐振环(CSRR)结构的基片集成波导(SIW)型高温温度传感器。通过对该传感器的工作原理进行分析，并利用HFSS仿真软件进行建模优化，验证该传感器可用于温度检测的可行性，完成了高温温度传感器的设计。基于高温共烧陶瓷(HTCC)三维成型和丝网印刷工艺完成了传感器的制备。搭建高温温度测试平台，对传感器的性能进行了测试。该传感器可实现25～800℃内的温度检测，传感器在25～400℃低温内的温度灵敏度为33 kHz/℃,在400～800℃高温内的温度灵敏度为72.65 kHz/℃。

• 单位
  太原学院