SiC陶瓷在钎焊过程中的6H到3C多型相变(英文)

作者:石浩江; 张瑞谦; 李鸣; 颜家振; 刘自豪; 白冬
来源:人工晶体学报, 2023, 52(08): 1516-1522.
DOI:10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2023.08.005

摘要

为探究钎焊过程对SiC陶瓷晶体结构的影响,为钎焊工艺设计提供理论及试验数据支撑,本研究采用纯Ni箔作为中间层在1 100~1 245℃下实现了6H-SiC的钎焊连接,并研究了焊缝以及6H-SiC基体与焊缝界面处的微观形貌。研究结果表明,少量Ni原子在钎焊过程中会扩散进入6H-SiC陶瓷,并以固溶形式存在,降低了6H-SiC层错能。随着钎焊温度升高,6H-SiC/焊缝界面处的焊后残余应力增大,当钎焊温度达到1 245℃时,界面处的6H-SiC的(0001)面沿■方向产生滑移,6H-SiC切变形成3C-SiC。因此,SiC陶瓷在钎焊过程中受应力和钎料组成元素的作用发生相变,针对特殊环境使用的SiC陶瓷需要斟酌钎焊工艺对其晶体结构及性能的影响。

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