浅谈循环氢气活性炭吸附性能下降原因及再生工艺

作者：曹喜高; 冯文贵; 许龙龙

来源：中国石油和化工标准与质量, 2022, 42(06): 178-180.

• 多晶硅
• 活性炭
• 再生
• 吸附

尾气回收活性炭吸附柱内逐渐积累氯硅烷、HCl和B、P等杂质，导致碳吸附塔中活性炭的吸附性能降低，从而影响循环氢气纯度和成品质量，结合活性炭吸附柱的穿透曲线，调研了活性炭的再生工艺。