双牺牲层微测辐射热计最新研究进展

作者：彭自求; 王军; 袁凯; 蒋亚东

来源：电子器件, 2010, 33(03): 303-307.

• 微测辐射热计
• 双牺牲层
• 屋檐结构
• 伞状结构
• 隐藏桥腿结构 microbolometer
• double sacrificial layers
• eave structure
• umbrella structure
• hidden leg structure

通过改善结构,来研制更小尺寸、更高分辨率的器件,成为微测辐射热计研制的新趋势,而其中最普遍的做法就是使用双牺牲层。本文介绍了双牺牲层微测辐射热计研究的最新成果,即以Raytheon和DRS等为代表的两种做法,并从器件结构和工艺上比较了两种思路的优劣。

• 单位
  电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 光电信息学院