针对表面粗糙度接触测量时,触针容易划伤测量表面、易磨损针尖,且不能测量软金属表面,无法实时在线测量,设计研制一台表面粗糙度非接触测量装置。基于LabVIEW平台,采用亚微米级高精度光谱共焦传感器及高精度线性定位运动平台,实现对多种类型加工面的表面粗糙度非接触测量。实验结果表明,该装置测量范围为400μm,最大允许误差±5%,具有一定的应用前景和推广价值。
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