相移条纹非线性相位误差补偿方法

作者：樊敏; 张启灿^*

来源：激光杂志, 2019, 40(11): 16-21.

DOI：10.14016/j.cnki.jgzz.2019.11.016

• 三维测量
• 相位测量轮廓术
• 相位补偿
• gamma非线性效应

在基于数字光栅投影的三维测量系统中,数字投影仪和相机的gamma非线性效应会给测量结果带入非线性误差。建立并分析了该非线性误差数学模型,提出了一种利用该测量系统非线性误差的谐波系数进行相位误差补偿的方法。该方法向参考面投影两组初始差为π/N的相移条纹计算出非线性误差,利用非线性误差的分布规律,直接在误差分布的空域内计算出该测量系统的非线性谐波系数,然后用相位补偿迭代算法来求取物体的理想相位分布。模拟仿真以及对标准平面和面具模型的实验验证了所提方法的可行性。实验结果表明该方法能很好地提高相位测量精度,将实测实验中的误差标准偏差由0. 27 rad降为0. 036 rad。

• 单位
  四川大学