BST铁电薄膜的制备、应用及其研究进展

作者：丁历; 廖恒成; 姜云峰

来源：化工时刊, 2005, (11): 54-57.

DOI：10.16597/j.cnki.issn.1002-154x.2005.11.019

• 钛酸锶钡(BST)
• 铁电薄膜
• 制备 Barium Strontium Titanate(BST) ferroelectric thin Film preparation

综述了钛酸锶钡(BST)铁电薄膜的4种制备工艺:磁控溅射(Magnetron sputtering)法、金属有机物化学气相沉积(MOCVD)法、脉冲激光淀积(PLD)法,以及溶胶—凝胶(Sol—Gel)法。并介绍了BST铁电薄膜在动态随机存储器、非致冷红外探测器热成像、移相器等方面的应用及其研究进展。

• 单位
  东南大学