一种高硬度导电的碳基薄膜的制备方法

作者：彭继华; 杨满中

来源：2019-04-28, 中国, ZL201910349739.6.

本发明公开了一种高硬度导电的碳基薄膜的制备方法。该制备方法先将经过超声清洗后的导电金属工件置于真空镀膜装置的真空室中进行离子刻蚀活化；然后采用双极脉冲直流电源,依次通过Cr金属靶和WC靶,形成Cr-WC过渡层；在Cr-WC过渡层上制备含氢的非晶类金刚石涂层；在热处理装置中升温到430-600℃,保温,制得高硬度导电的碳基薄膜。本发明在DLC涂层中sp3C-C的含量高获得高硬度同时要降低其导电性,制得一种高附着力、高硬度度、导电率与石墨相当的类金刚石涂层/碳基薄膜。

• 单位
  华南理工大学