碲锌镉衬底表面处理研究

作者：江先燕; 丛树仁^*; 宁卓; 起文斌; 刘燕; 宋林伟; 孔金丞

来源：红外技术, 2023, 45(11): 1242-1255.

• 碲锌镉(CZT)
• 表面处理
• 位错揭示

主要从碲锌镉表面处理工艺及表面位错缺陷揭示两个方面对碲锌镉衬底的表面处理研究进行了详细介绍。从表面处理机理和工艺参数对衬底表面的影响两个方面介绍了机械研磨、机械抛光、化学机械抛光以及化学抛光4种表面处理工艺。同时，介绍了能揭示碲锌镉不同晶向表面的位错缺陷的Everson、Nakagawa及EAg三种化学腐蚀液。

• 单位
  昆明物理研究所