用计算全息图检测非球面时的自补偿效应分析

作者：高松涛; 武东城; 彭石军; 苏东奇; 苗二龙

来源：光学学报, 2015, 35(11): 126-131.

• 全息
• 计算全息图(CGH)
• 非球面检测
• 自补偿效应

用计算全息图(CGH)检测非球面时,除了设计零位补偿CGH外,还往往设计辅助调节CGH,从而可以利用干涉图来精确调节CGH的位置。针对这种同时具有零位补偿和辅助调节功能的CGH,提出零位补偿CGH和辅助调节CGH之间具有相互补偿效应。针对一高次非球面,设计了四种不同的CGH配置方案,而后逐一分析了零位补偿CGH和辅助调节CGH之间的补偿效应。分析结果表明,在相同的基板误差的条件下,具有自补偿效应的配置方案的Power项误差小于其他方案的1/40,而球差和高阶球差则小于其他方案的1/70。利用具有自补偿效应的配置方案加工制作了CGH,用此CGH完成了对非球面的加工检测迭代,非球面面形的收敛精度均方根(RMS)达到0.48 nm。

• 单位
  应用光学国家重点实验室; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所