对合成含氢三烷氧基硅烷的主要方法进行了简要分析,用溶胶凝胶法制备了适合于直接合成含氢三乙氧基硅烷的纳米氢氧化铜催化剂,其粒径为18 nm,比表面积29.5 m2/g,晶型为简单四方型,应用该催化剂在溶剂中以硅粉与气态醇反应合成含氢三乙氧基硅烷.结果表明,以YD-325为溶剂,反应温度为483 K,催化剂用量为5.2%,硅粉粒度为45~63μm,含氢三乙氧基硅烷的选择性为98.9%,硅粉的转化率接近100%.