细长石英管内直流放电等离子体研究

作者：王权; 王波; 刘云辉; 张天一

来源：真空科学与技术学报, 2018, 38(04): 259-263.

DOI：10.13922/j.cnki.cjovst.2018.04.01

• 等离子体
• 直流放电
• 朗缪尔探针
• 电子密度
• 击穿电压

利用朗缪尔双探针等离子体诊断方法,研究了细长石英管内的低气压直流放电行为,探讨了细长管空间内的放电条件对等离子体参数的影响规律。结果表明:通过提高放电功率和增加阴极数目可以有效的提高等离子体密度,且当放电气压为100 Pa时,电子密度最大,本装置所测最大密度为1.03×1017m-3;电子温度则随着放电功率和放电气压的增大而不断减小;放电距离越远,对击穿电压要求越高,分段式放电可以在较低的放电电压下,对较远的电极距离实现直流放电。

• 单位
  北京工业大学; 无锡科技职业学院; 枣庄科技职业学院