简化三探针方法用于瞬态等离子体诊断的局限性

作者：陆文琪; 汤元真

来源：物理实验, 2023, 43(07): 8-12.

DOI：10.19655/j.cnki.1005-4642.2023.07.002

• 简化三探针
• 瞬态等离子体
• 悬浮电位
• 测量时间分辨率

为展示一些瞬态等离子体诊断实验中采用基于悬浮电位测量的简化三探针方法而产生误差的问题，本文利用示波器对脉冲微波电子回旋共振(ECR)等离子体的悬浮电位进行测量，并将结果与时间分辨单探针的测量值进行比较，说明了利用示波器测量悬浮电位产生误差的原因，即存在示波器测量悬浮电位所固有的探针对地有限电阻与“悬浮”要求之间的矛盾以及探针对地高阻抗和测量系统快速响应之间的矛盾.三探针诊断对比实验展示了简化三探针方法由于悬浮电位测量导致误差，且对诊断结果带来显著影响，因此准确的瞬态等离子体诊断应当采用标准的双偏置三探针方法.

• 单位
  大连理工大学; 物理学院