摘要

国际标准化组织(ISO)于2019年5月发布了ISO 14644-16第1版,针对洁净室及隔离设备的节能提出指导和建议,给出了与洁净室节能相关的术语和评价指标,汇总了洁净室节能的各个环节。本文简单介绍了该标准的内容,分析了洁净室节能的各项技术措施。