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摘要
振动对仪器和机床的精度都有较大影响，对其进行准确检测和分析，是实现振动有效控制的前提。本研究提出了一种高灵敏度和低耦合三维弹性机构及其参数优化方法。介绍了三维弹性机构的构型，并通过理论建模、参数优化和仿真分析完成了三维弹性机构的设计和优化，最后将该弹性机构与高灵敏度、低耦合传感系统相结合，研制了高性能三维低频加速度计系统，并实测了加速度计系统的性能参数。根据实验结果，使用该弹性机构的三维加速度计的灵敏度优于2.0 V/(m·s-2),耦合误差低于1.5%,以及频率响应范围为1～13 Hz,符合设计要求。因此，本研究所提出的三维弹性机构具有三维等灵敏度和低耦合的特点，可以广泛应用于各种三维加速度计。
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