基于多焦点并行加工光栅的研究

作者：周立强; 朱林伟^*; 史强

来源：鲁东大学学报(自然科学版), 2021, 37(04): 320-333.

• 矢量迭代优化算法
• 空间光调制器
• 飞秒激光
• 多焦点
• 光栅

本文提出了一种多焦点并行加工光栅的方法,主要利用矢量迭代优化算法,设计生成了多焦点的纯相位分布图。利用空间光调制器和纯相位分布图,可以将入射光调制成为所需的多焦点阵列。以1×11个点阵结构为例,利用飞秒激光加工系统结合空间光调制器实现了11路激光的并行加工,可以同时制备11条纳米级宽度的光栅结构,验证了矢量迭代优化算法可以产生高均匀度的多焦点,为提高飞秒激光加工效率提供了一种方法,在制备大规模光栅及微纳光学器件方面具有很高的应用价值。