n型IBC太阳电池磷掺杂工艺

作者：屈小勇; 高嘉庆^*; 郭永刚; 吴翔; 张博; 杨爱静; 张天杰

来源：微纳电子技术, 2022, 59(03): 278-283.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2022.03.012

• 叉指背接触(IBC)太阳电池
• 离子注入
• 钝化性能
• 接触性能
• 光电转换效率

为了兼顾叉指背接触(IBC)太阳电池背表面场(BSF)区域的钝化性能和接触性能，在现有IBC太阳电池制备工艺基础上引入离子注入技术，对电池背表面场区域进行磷离子注入。研究了不同磷离子注入剂量对IBC电池钝化性能和接触性能的影响，并研究了烧结工艺对IBC电池接触性能的影响。实验结果表明，当磷离子注入剂量为6.6×1014～6.8×1014 ions/cm2、烧结温度为840℃、烧结带速为9.4 m/min时，背表面场区域可同时获得良好的钝化性能和接触性能，制备的IBC电池最高光电转换效率可达24.38%,平均光电转换效率可达24.21%,对应的短路电流密度为42.553 mA/cm2,开路电压为701.9 mV,填充因子为81.35%。

• 单位
  青海黄河上游水电开发有限责任公司