AIB用于改进PLD沉积在机械瓣膜上的类金刚石膜的质量

作者：罗乐; 秦娟娟; 孙伟; 方晓东; 严中亚

来源：光电子-激光, 2010, (05): 695-698.

DOI：10.16136/j.joel.2010.05.011

• 脉冲激光沉积法(PLD)
• 类金刚石(DLC)膜
• 人工心脏机械瓣膜
• 氩离子轰击(AIB)
• 微观结构 pulsed laser deposition(PLD)
• diamond like carbon(DLC) film
• mechanical heart valve
• argon ion bombardment(AIB)
• microstructure

用脉冲激光沉积(PLD)法在热解C制作的人工心脏机械瓣膜上沉积类金刚石(DLC)薄膜,并用3KeV的氩离子轰击(AIB)DLC薄膜。采用拉曼(Raman)光谱和X射线光电子能谱(XPS)分别对AIB前后的DLC薄膜进行检测分析,用光学显微镜观察AIB前后的DLC薄膜表面。实验结果表明:AIB不影响薄膜的黏附性。但是可以在一定程度上导致薄膜微观结构的变化和sp3/sp2比值的提高,可以在薄膜中掺杂微量的Ar元素,可以有效消除薄膜表面吸附的O,但对薄膜中C-O、C=O和COOH的影响较小。因此,离子轰击法可以作为一种改进类金刚石薄膜质量的方法。

• 单位
  中国科学院，安徽光学精密机械研究所; 安徽省立医院; 合肥工业大学; 中国科学院安徽光学精密机械研究所