类金刚石膜形态的分子动力学模拟研究

作者：张宇军; 董光能; 毛军红; 曾群锋; 谢友柏

来源：真空科学与技术学报, 2007, (06): 455-459.

DOI：10.13922/j.cnki.cjovst.2007.06.005

• 类金刚石膜
• 分子动力学模拟
• s-p杂化 Diamond-like carbon film(DLC)
• Molecular dynamics simulation
• s-p hybridization

类金刚石膜(Diamond-like carbon,DLC)优异的性能与碳原子sp2、sp3杂化密切相关。本文采用分子动力学方法,分别模拟计算了以C原子和CH3原子团为主要沉积物,在不同入射能量下制备无氢DLC膜和含氢DLC膜的动力学过程。研究了所生长成的两类DLC膜的具体形态及s-p杂化特性。揭示了无氢和含氢的两类DLC膜中sp2与sp3键的形成与连接结构形式,模拟结果表明:合适的入射能量可获得致密的DLC膜。在中等入射能量下,得到的sp3键含量的计算结果较好地符合实验结果,体现了理论计算与分析对实验制备的指导意义。

• 单位
  宝山钢铁股份有限公司; 西安交通大学