微液滴注法制备掺杂ZnO传感器及其气敏性能研究

作者:宋振林; 张覃轶*; 孟鑫; 姚志伟; 张顺平
来源:传感器与微系统, 2019, 38(05): 6-9.
DOI:10.13873/J.1000-9787(2019)05-0006-04

摘要

采用自制ZnO颗粒,通过丝网印刷制备了ZnO平板型厚膜气体传感器,使用微液滴注的方法对ZnO传感器进行Mg,Mn,Sn,Pd掺杂,测量了传感器对乙醇、丙酮、苯、乙酸的气敏性能。结果表明:微滴掺杂能有效提高传感器敏感性和选择性,其中,Mg掺杂传感器对乙醇和丙酮具有最大响应值,同时Mn掺杂传感器对乙酸表现出了较好的选择性。

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