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摘要
采用有限元方法，针对横观各向同性压电材料进行轴对称纳米压痕的机电耦合响应数值仿真。结果表明：当压入过程中不施加预设电压，压痕载荷与压痕位移之间呈线性关系；导电压头上电势与压痕位移也呈现相似关系，压头边缘附近的接触应力和电场存在奇异性，且二者均随压头下固体厚度呈指数变化。通过对不同压痕深度和材料厚度下，从压头内部到接触边缘向应力、法向电势和切向电势分布情况的拟合公式得到了不同压电材料厚度下电场和应力场的奇异常数，并对其变化规律进行了分析。
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单位机电工程学院; 兰州理工大学
