ZrO_2掺杂对钡硼硅系微晶玻璃性能的影响

作者：唐波; 李波

来源：硅酸盐学报, 2013, (12): 1650-1655.

• 钡硼硅
• 方石英
• 石英
• 热膨胀系数
• 抗弯强度
• 相对介电常数 barium borosilicate
• cristobalite
• quartz
• thermal expansion coefficient
• bending strength
• relative permittivity dielectric

采用固相法制备具有高热膨胀系数的BaO–B2O3–SiO2系微晶玻璃。通过对微晶玻璃复合材料的热、力和电学性能以及扫描电子显微镜、X射线衍射和差热分析,研究了ZrO2掺杂对钡硼硅系微晶玻璃各项性能的影响。结果表明:随ZrO2掺杂含量的增加,微观上微晶玻璃中方石英晶相含量明显减少,石英晶相含量显著增加;宏观上,微晶玻璃的抗弯强度及其相对介电常数逐渐增加,热膨胀系数随之略微减小,但可在一定范围内通过调整微晶玻璃高的热膨胀系数,使热膨胀系数随温度的变化更趋于线性化,优化微晶玻璃的热学性能。在950℃烧结温度条件下,ZrO2掺杂量为5%(质量分数)时得到的微晶玻璃抗弯强度最大(181 MPa),具有较...

• 单位
  电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室