比利时科学家研发分子级检测的最小生物传感器

来源：传感器世界, 2021, 27(02): 37-38.

<正>2020年12月底,比利时微电子研究中心(interuniversity microelectronics centre,IMEC)展示了采用硅FinFET(鳍式场效应晶体管)工艺的最小生物传感器。得益于高集成度和低成本潜力,FET(场效应晶体管)引起了生物传感(例如DNA、蛋白质、病毒检测及pH传感等)应用领域的广泛兴趣。当生物分子与栅极的化学修饰介电表面结合时,FET阈值电压发生变化,