多晶硅片单面制绒工艺的研究

作者：张建军^*; 许志卫; 张志敏; 张永; 孙晓凯; 谢伟伟; 徐苏凡

来源：太阳能, 2021, (01): 68-72.

DOI：10.19911/j.1003-0417.tyn20200212.01

• 太阳电池
• 多晶硅片
• 金刚线
• 漂浮式制绒
• 转换效率

介绍了一种新的多晶硅片单面制绒工艺,通过对太阳能多晶硅链式制绒设备进行改造,使制绒槽内的硅片由浸没式腐蚀制绒改为漂浮式腐蚀制绒,同时利用喷淋方式去除硅片背面的损伤层,可有效避免硅片背面的过度腐蚀。通过选定相同条件下的多晶硅原料片,并进行严格均分,分别采用单面制绒工艺与产线常规双面制绒工艺进行制绒,其他工序采用相同设备及工艺配方,测试制绒后硅片的减重、反射率及SEM微观结构,对比分析不同制绒工艺对硅片的影响。结果表明,多晶硅片采用单面制绒工艺后硅片减薄、反射率降低,且采用该工艺制备的太阳电池的转换效率提升了0.03%。