CaRuO_3电极对(Ba,Sr)TiO_3薄膜的介电特性的影响

作者：熊惠芳; 唐新桂; 易双萍; 范仰才; 蒋力立; 陈王丽华

来源：功能材料与器件学报, 2007, (03): 266-270.

• 脉冲激光沉积
• 钛酸锶钡薄膜
• 异质结构
• 介电调谐率 pulsed laser deposition(PLD)
• BST thin film
• heterostructure
• dielectric tunability

在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)衬底上,用脉冲激光沉积工艺分别制备出了(110)外延取向生长的(Ba0.65Sr0.35)TiO3/CaRuO3(BST/CRO)异质结构薄膜;BST/CRO异质结构薄膜由纳米晶团簇组成,最大的团簇晶粒达500 nm,平均晶粒尺寸在60~80 nm,薄膜厚度为650 nm。BST/CRO异质结薄膜均为表面平滑和致密结构。BST/CRO异质结薄膜的介电常数和介电调谐率分别高达851和78.1%。与纯BST薄膜比较,用CRO作电极,增益介电常数与介电调谐率。

• 单位
  广东工业大学; 香港理工大学