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摘要
杂散光是影响显微系统成像质量的重要因素之一,在光学镜面加工及光学镜面清洁过程中会带来不同程度的镜面散射,这部分镜面散射所带来的杂散光影响不可忽视。以放大倍率为20×,数值孔径为0.49的显微物镜为基础,利用Trace Pro光学分析软件,建立了黑斑法测量显微物镜杂散光系数的仿真模型,对照明数值孔径、照明视场以及黑斑位置三个影响杂散光测量条件的因素进行仿真探究,验证了模型的可行性。在此基础上,研究了表面粗糙度(2、5、10、20 nm)和表面颗粒污染水平(230、500、750)对不同NA显微物镜杂散光的影响。仿真结果表明,表面粗糙度大于10 nm或表面洁净度大于500均会严重影响显微物镜像面杂散光的分布,降低显微物镜的成像质量,尤其对大NA显微物镜影响更为明显。因此,为控制镜面散射对显微系统性能的影响,应提高镜面加工工艺并保持镜面清洁。
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