平板式PECVD设备工艺腔加热系统的设计

作者：杨彬; 禹庆荣; 苏卫中; 李健志; 谢利华; 陈特超

来源：电子工业专用设备, 2019, 48(02): 28-54.

• 太阳能电池
• 电阻加热
• 电功率
• 温度
• 均匀性

根据太阳能PERC电池关键工艺设备——平板式PECVD设备的整体要求,介绍了其中工艺腔的加热系统设计,对加热功率进行了计算,控制方式进行了分析,通过优化设计,降低了设备的能耗,提高了温度均匀性。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十八研究所