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摘要
为了解决受荷电效应影响导致玻璃类绝缘样品加工难的问题，提出了改进聚焦离子束常规制备透射电镜样品的方法。改进的方法主要是在制备过程中引入电子束辅助沉积和机械手辅助切割，并搭配合理的离子束加工束流。其中，电子束辅助沉积可以帮助操作人员在因荷电效应而模糊不清的图像中迅速且精准地找到关键区；机械手辅助切割可通过建立更好的电荷接地通道来减弱切割过程中材料表面的荷电现象；合理的离子束加工束流则是为了平衡荷电效应和加工速率之间的矛盾。结果表明，改进后的方法能够在保证加工速率的前提下，有效改善材料表面的荷电现象，实现离子束对玻璃材料的快速精准加工，获得良好的透射电镜样品。
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单位凝固技术国家重点实验室; 西北工业大学
